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为满足科研人员对样品的观测需求,原位芯片采用先进的微电子工艺,设计并制造了专门用于同步辐射线站及扫描电子显微镜(SEM)的标准氮化硅膜窗格。原位芯片氮化硅膜窗格具有高洁净度,高X-射线透射性,低应力,高强度且膜厚均匀一致的特性,适用于高温(~1000℃)实验以及不同压力环境的测试。目前我们的产品已被全球范围内的科研人员广泛认可且用于其生物、材料、物理、化学等方面的研究。
100级洁净环境
严格选用硅衬底材料
先进的工艺水平
薄膜应力<250Mpa
薄膜最薄可至10nm
窗口大小可至2cm
粗糙度低于0.5nm
均匀性优于5%
耐酸(氢氟酸除外),耐碱,耐有机溶剂
纳米材料,半导体材料,光学晶体材料,功能薄膜材料
胶体,气凝胶,有机材料和纳米颗粒的表征实验
含碳样品分析(光阻剂,聚合物,食品,油品,燃料等)
作为生物、细胞载体
此款窗格提供三种不同外框尺寸(5mm,7.5mm,10mm)以供选择,硅衬底厚度均为200µm。